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        背景

        FT型快速退火爐選型和技術(shù)參數(shù)

        時(shí)間: 2019-03-07 12:58:37 瀏覽次數(shù):
        FT型快速退火爐選型上可供參考的型號(hào)有:快速燒結(jié)爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐,進(jìn)口快速退火爐,采用大功率紅外線輻射方式,配合腔體內(nèi)鍍金反射層,
               FT型快速退火爐選型上可供參考的型號(hào)有:快速燒結(jié)爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐,進(jìn)口快速退火爐,采用大功率紅外線輻射方式,配合腔體內(nèi)鍍金反射層,使單片硅片快速升溫。降溫時(shí)紅外線燈管停止工作,大流量壓縮空氣(或冷卻氮?dú)猓┭杆賻ё咔惑w內(nèi)熱量,實(shí)現(xiàn)快速降溫。
        二、快速退火爐主要技術(shù)參數(shù)(下述參數(shù)可根據(jù)需求調(diào)整)
        1、外型形式:臺(tái)式,單片硅片
        2、硅片尺寸:156*156方片,2-8寸硅片
        4、額定工作溫度:1000 ℃
        5、單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性:&plusmn;0.5 ℃
        6、溫度均勻性:&plusmn;1℃(900℃以上)
        7、升溫速率:0 - 100 ℃/S 可調(diào)
        8、降溫速率:0 - 100 ℃/S 可調(diào)
        9、恒溫時(shí)間:0 - 600 S
        10、加熱功率:18根(每根1.5KW)紅外線燈管,總功率27KW
        11、鋁合金爐膛:鋁合金水冷鍍金爐膛,導(dǎo)熱性能好,有效提高降溫速率
        12、石英爐膛:可拆卸結(jié)構(gòu),當(dāng)爐膛內(nèi)被煙霧污染導(dǎo)致升溫速率降低時(shí),可將石英爐膛拆下清洗
        FT型快速退火爐選型和技術(shù)參數(shù)

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        臺(tái)車爐,回火爐,退火爐

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